Vacuümcomponenten op hoge temperatuur
Warmtebehandeling omvat voornamelijk oxidatie-, diffusie- en gloeiprocessen.Oxidatie is een additief proces waarbij siliciumwafels in een hogetemperatuuroven worden geplaatst en zuurstof wordt toegevoegd om ermee te reageren om silica op het oppervlak van de wafel te vormen.Diffusie is het verplaatsen van stoffen van het hoge concentratiegebied naar het lage concentratiegebied door middel van moleculaire thermische beweging, en het diffusieproces kan worden gebruikt om specifieke doteringsstoffen in het siliciumsubstraat te doteren, waardoor de geleidbaarheid van halfgeleiders verandert.
